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対応ウェハー(インチ) |
外形寸法(mm)間口 |
外形寸法(mm)奥行 |
外形寸法(mm)高さ |
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J931JA
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4
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141
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175
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139
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J932JA
♡
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5
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161
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174
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166
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J933JA
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6
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175
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196
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188
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