●フルスケール流量−ガス種:5SLM−N2●ガス種類:N2●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15〜35℃)●応答性:6sec●流量制御範囲:5〜100%FS●入出力:アナログ信号(0〜5VDC)●バルブ形式:N/Oノーマルオープン●再現性:±0.2%FS●動作圧力範囲:50〜300kPa●耐圧:1MPa(G)●外部リークレート:1×10^−7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム●接続:1/4in.SWL相当●電源:+15VDC±5% 60mA、−15VDC±5% 150mA●通信方式:アナログ0〜5VDC(D−Sub9Pinコネクタ)●サイズ:127×25.5×100mm●生産国:日本